I te wa e tono ana o kaupapa kia tino marama te marama me te whakamaarama wera, Raupapa Whakaata Super Smooth Mirror Silica Fused tuku mahi kore taurite. Ki te taratara mata i raro i te 0.5 nm RMS me te λ/10 te papatahi i te 633 nm, ka whakaitihia e enei taputapu te marara marama ahakoa i roto i nga taiao tino. I hoahoatia mo te aerospace, semiconductor, me nga tono laser, ka whakakotahihia e ratou nga otinga tino maeneene me te paepae kino laser teitei (40 J/cm² @ 1064nm) ki te whakatutuki i nga paerewa umanga kaha.
| tawhā | Whakapūtātanga |
|---|---|
| ahu | D=φ12.7-φ100mm(±0.01), H=4-8mm (customizable)(±0.05) |
| Te rahi o te timatanga | 1/2D < Rahi Whakamatau < D (ka taea te whakarite) |
| Te pūtoro kōpiko | SR=500-8000 (ka taea te whakarite), tika ±0.05% |
| Te tika o te mata | λ/2-λ/10@632.8nm |
| Te tika o te porohita | 30"-3′ |
| Whanui | Ra0.12nm (Zygo profiler, 173*173μm rohe) |
| Materials | ULE, silica hono, zerodur, hapaira, K9, kirikiri kiriata kotahi |
| Taupānga | Taiaho mana teitei, tirotiro whatu tino tika, hanga hiko haurua-arataki, tirotiro hiko haurua-arataki |
| Kāore ngā tohu motuhake i te whānuitanga o runga ake nei, ā, ka taea te whakarite kia rite ki ngā hiahia o te kaiwhakamahi. | |
Tuhipoka: Ka taea te whakarite i nga whakaritenga ki te whakatutuki i o whakaritenga motuhake.

1. Tukua nga Whakaritenga: Tirihia nga tohu / tuhi ma te imeera
2. Arotake Hoahoa: Tikina he urupare miihini i roto i nga haora 72
3. Te tauira: Whiwhi i nga waeine whakamatautau i roto i nga ra 14
4. Production: Tauine ki te kounga puranga-tohu

"Ko nga mata 0.32nm RMS rite tonu i whakatau i a maatau nga wero whakaata a te kaikohi EUV."– Kaihautū Ahumahi Semiconductor

1. He aha te hanga Raupapa Whakaata Super Smooth Mirror Silica Fused pai mo lasers?
Ko to ratou <0.5nm taratara ka whakaiti i te marara, ko te LIDT teitei (40 J/cm²) ka aukati i te kino o te kurupae.
2. Ka taea e koe te hanga taputapu nui ake i te 500mm?
Ae - whakapā mai ki a maatau mo nga otinga whakatakotoranga-nui ake ki te 800mm.
3. He pehea te whakataurite o nga taonga waiariki ki a Zerodur?
He pai ake te tuku UV me te CTE iti (0.55 vs 0.85 x10⁻⁶/K) to tatou silica whakakotahi.
4. He aha nga whakakikorua e taunaki ana koe mo te whakamaoritanga UV?
Katote-kurupae sputtered paninga dielectric ki <0.1% absorption i 13.5nm.
Kua reri ki te whakanui i o punaha mata me o maatau Raupapa Whakaata Super Smooth Mirror Silica Fused? Kei konei ta matou roopu ki te awhina i a koe ki nga paatai, ki nga whakaritenga ritenga ranei. Totoro mai ki a matou i xachaona@163.com, ka matapakihia me pehea te tautoko i to kaupapa e whai ake nei.
Akohia a maatau hua hou me nga utu ma te SMS, imeera ranei