Kotahi Crystal Silicon Super Iti Ngaronga Porohita Mirror

Kotahi Crystal Silicon Super Iti Ngaronga Porohita Mirror mo te Tika EUV Systems

I hangaia ki te whakatutuki <0.1 nm te taratara o te mata me te 99.9999% te parakore o nga rawa, to tatou Kotahi Crystal Silicon Super Iti Ngaronga Porohita Mirror ka tautuhi ano i te tino tika mo te whakamaaramatanga ultraviolet (EUV) tino, te rorohiko ine, me nga punaha aerospace. Ma te whakahiato poutū mai i te tipu karaihe ki te metrology kua whakamanahia e te ISO, ka tukuna e matou nga whakaata e pupuri ana i te tika o te mata λ/10 ahakoa i raro i te 500K nga taumahatanga wera.

tawhā

He aha te pai ake o a maatau whakaata

Tikanga Mata Taumata-ngota

• Maeneene i raro i te ångström: Ka eke ki te ≤0.12 nm Ra taratara ma te whakaoti magnetorheological, ka whakakore i te marara marama i roto i te EUV lithography me te tirotiro mara pouri—he mea tino nui mo te hanga maramara 3nm ahakoa he kotiti te tauine ngota ka whakakorikori i te rama 13.5nm, kia kore ai e koha.
• Kore he kino o raro: Ko te whakakorikori kore-korikori ka aukati i nga whati i whakaawehia e te taiaho, he mea nui mo nga whakaata kohikohi EUV me nga punaha LDI, ka taea e te ahotea o nga rawa te mate kino i raro i nga pupuhi kaha-kaha, ka mau tonu te tapatahi i roto i nga huringa 10⁸+ i roto i nga waahanga hiko.​
• Te tauritenga o te kirikiri: <0.1° te rereke o te whakatakotoranga puta noa i te mata katoa ka whakarite kia rite tonu nga ahuatanga whatu, te matua mo te hanga i te kurupae whakaahua whakaahua me nga taputapu tirotiro—ma tenei tauritenga ka aukati i te heke o nga mahi a-rohe, he mea nui mo te hangahanga node 3nm pono me te tātari hapa-tiketike.

EUV-Arotau Mahi

• 95%+ te whakaata i te roangaru 13.5 nm: Ka whakarite kia kaha te whakamahi photon i roto i te EUV lithography mo te hanga maramara 3nm, he mea nui ia 13.5nm photon mo te whakatauira tika—ko tenei whakaata teitei ka whakaiti i te ngaronga o te hiko, te whakanui i te urunga i roto i nga papanga semiconductor e whakawhirinaki ana ki te whakamahi marama.​
• <5 ppm te ngaronga whakauru ahakoa i te 20 W/cm² EUV rere: Ka aukati i te whakamahana nui me te paheketanga o nga mahi i roto i nga punaha EUV kaha-nui, ka mau tonu i roto i nga kaikohi whakaata me nga kaikoi kurupae i raro i te kaha o te rere, he mea nui mo te karo i te korikori waiariki ka pakaru nga tauira ara iahiko node 3nm.​
• 0.05 ppm/K te whakawhanui waiariki: Ka whakapumau i te riterite o te ahu puta noa i nga rereketanga o te pāmahana i roto i nga taputapu EUV, me te whakarite kia tika te tirohanga i roto i te whakaahua whakaahua me nga punaha tirotiro-ma tenei pumau ka aukati i te hee ka taea te whakararu i te tika o te hangahanga 3nm, ahakoa he rereke nga pāmahana whakahaere.

Te Tiakitanga Mihana-Arotake

• 10-tau te roa o te oranga i raro i te 24/7 mahi kaha-nui: Ka whakapumau i te pono mo te wa-roa i roto i nga punaha lithography EUV e rere tonu ana, e whakaiti ana i te waa mo te whakakapi i nga miihini maramara 3nm — ka rite tenei mauroa ki te whakaata teitei me te iti o te whakaurunga, ka mau tonu te mahi i roto i nga tau o te 13.5nm whakakitenga whakaahua.​
• MIL-O-13830A te aukati i te wiri / wiri: Ka mau i te ahotea miihini i roto i te kawe me te mahi, he mea nui mo nga taputapu EUV i nekehia i waenga i nga whakaurunga, ka kitea ranei ki nga wiri wheketere, te aukati i nga nekehanga whakaraerae ka pakaru i te tauira 3nm, te whakakii i te pumau o te waiariki mo te pakari huri noa.​
• Ko nga paninga AR ritenga hei pehi i nga whakaata whakamuri 632-1550 nm: Ka whakakore i te pokanoa mai i nga roangaru kotiti i roto i nga tatūnga maha-pūnaha, me te whakarite kia noho kore te rama 13.5nm EUV — ma tenei tika ka whakarei ake i te tika o te whakaahua whakaahua, te hono me te iti o te urunga ki te arotau i te pai o te hanga pona 3nm.

I Hangaia te Tika mo te 3nm Tipu Tipu

Tatou Kotahi Crystal Silicon Super Iti Ngaronga Porohita Mirror ka taea te hanga semiconductor muri-gen ma:

1. Te whakakore i te whakakorikori tauira i roto i te tika o mua ngaru λ/20

2. Te whakaheke i nga huringa whakakapi whakaata ma te 40% ma nga papa kore koha

3. Te whakapumau i te hononga kurupae me te <0.001% te wera wera i te 500K

I whakawhirinakihia e te Ao Innovators

"I muri i te huri ki o raatau Whakaata Spherical, i eke matou ki te 1.8% teitei ake nga hua angiangi i roto i ta maatau 5nm node production line."– Tumuaki Engineer, Top 3 Semiconductor OEM

Whakaritenga me te Whakaaetanga

• Rahi Ngohe: Mai i te φ7.5 mm moroiti-optics ki te 100 mm tïpako
• Kōwhiringa paninga:
• Uwha-IR Unui (250-2000 nm)
• Taiaho whanui-whanui kuiti (±0.1 nm)
• Nga tāpae paparanga maha kua whakapai ake a EUV
• Certifications:
• ISO 9001/14001 hanga whaimana
• ITAR-kore, REACH/ROHS ture
• Katoa te hihiko arotake a te kaiwhakarato ASML

FAQs

Q: Me pehea koe e aukati ai i te huringa waiariki i roto i nga tono kaha-nui?

A: Ko o maatau whakaata te whakamahi i te CTE iti-iti o te kirikiri kirikiri kotahi (0.05 ppm/K) me nga hoahoa whakapuru kore ahotea, ka whakaiti i te rereke o te ahua ki te <1 nm ahakoa i te 500K.

Q: He aha nga tikanga whakahaere kounga hei whakarite i nga mata kore koha?

A: Mo ia Kotahi Crystal Silicon Super Iti Ngaronga Porohita Mirror ka whai:

• Interferometry marama ma (0.1 nm taumira)
• 100% te maapeta hapa ma te karumaru mara pouri
• Te whakamatautau LIDT ki te 50 MW/cm²

Q: Ka taea e koe te whakarite i nga whakaritenga whakakikorua OEM o naianei?

A: Ae. Tuarihia o whakaritenga anapi whakaata, a ka tukuna e ta maatau roopu paninga nga otinga kua arotau ki te mate i roto i te 72 haora.

Tonoa to Whakaata Whakaata Koreutu

Kua reri ki te whakanui i o punaha mata me o maatau Kotahi Crystal Silicon Super Iti Ngaronga Porohita Mirror? Kei konei ta matou roopu tohunga ki te awhina i a koe ki te rapu otinga tino pai mo to kaupapa.

īmēra: xachaona@163.com