Sapphire Super Low Loss Flat Concave Mirror mo te EUV Lithography & Wafer Inspection
Ko nga taputapu maamaa-iti, he iti te whakaurunga me te <0.01 nm te taratara o te mata mo te whakahaere marama i roto i te hangahanga hiko.
I te wa e tono ana o punaha whatu ki te mahi koretake, ko te Sapphire Super Iti Ngaronga Flat Concave Mirror tuku. He mea hanga mo te whakamaarama ultraviolet (EUV) me te tirotiro angiangi tino tika, ka whakakotahi tenei whakaata i te mauroa o te sapphire me te tika o te mata iti-nanometer hei whakaiti i te ngaronga marama me te whakanui i te pai o te punaha.
He aha te take i kowhiri ai i a maatau Sapphire Super Iti Ngaronga Whakaata Whakaata Concave?
1. Tikanga e Whakakaha ana i te Whakahoutanga
- Te Roughness Mata Sub-Ångström: Tutuki <0.12 nm Ra roughness (whakamatauhia ma te Zygo profilometer) mo te iti o te marara marama, he mea nui mo te EUV lithography i te 13.5 nm nga roangaru.
- Pūmautanga Weariki: Ka mau i te pāmahana neke atu i te 200°C me te kore he rerekee, me te whakarite kia rite tonu te mahi i raro i te putanga kaha o te EUV.
- Nga Tikanga Ritenga: Whakaritea te radii curvature mai i te 500 mm ki te 8000 mm (± 0.05% te tika) kia rite ki o whakaritenga hanga kurupae.
2. I hangaia mo te Whakaaetanga Kore
- Ngaronga Optical Ultra-Hakaiti: Ko nga reeti whakaata ≥99.999% puta noa i nga roangaru 420–3000 nm, ka whakaiti i te ururua hiko ki te 2-6 ppm noa.
- Sapphire Kohakore: Ko nga taputapu sapphire waihanga ka whakakore i nga ngoikoretanga o te karaihe e whakaheke ana i te taumira atahanga i roto i te hikohiko hikohiko.
- Te Whakamatau Tino: Ka mahia e ia whakaata nga arowhai interferometry me te spectrometry kia tutuki ai nga paerewa MIL-SPEC me ISO-tohu.
3. Nga otinga mo nga wero apopo
- EUV Lithography: Arotauhia te tuku marama i roto i nga punaha rite-ASML me nga whakaata e pupuri ana i te tika o te mata λ/8 ahakoa i muri i te 10,000+ haora o te mahi.
- Utauta Tirotiro Wafer: Rapua nga hapa iti-5 nm ma te whakamahi i nga optics i hangaia mo te metrology taumira teitei.
- Nga Pūnaha Taiaho: Whakaitihia te ngaronga tohu i roto i nga lasers tino pumau me nga paninga anti-whakaata me nga papanga ultra-flat.
tawhā
| Whakapūtātanga |
uara |
| ahu |
1)D=φ12.7-φ50.8mm(tolerance±0.1),H=4-8mm D:H>4:1(tolerance±0.5)
2)D50.8-φ100mm(tolerance±0.1),H=10-25mm D:H>4:1(tolerance±0.5)
|
| Te rahi o te timatanga |
φ7.5-45 |
| Te rahi o te waahi paninga |
rahi D12.7 tikanga, rahi rohe paninga 7.5; D25 te rahi o te waahi whakakikorua 10, ka taea te whakarite i etahi atu waahanga whakakikorua |
| Te whakatere |
SR=500-8000 (ka taea te whakarite), tika ±0.05% |
| Te tika o te mata |
λ/8 @ 632.8nm |
| Te tika o te porohita |
30"-3′ |
| Whanui |
Ra0.12nm (Zygo profilometer) waahi whakamatautau 173*173um inenga auau tonu |
| paninga |
Whakaata ≥99.999%, ngaro 2-6ppm, tuku 3-5ppm |
| Whanui tohutoro |
420nm-3000nm |
| Rauemi |
hapaira |
| ka taea te whakarite kia rite ki ngā hiahia o te kaiwhakamahi. |

He mea hanga mo te kaha o to Ahumahi
- Semiconductor Lithography: Whakaitihia nga hapa me nga whakaata e pupuri ana i te papatahi iti-nm ahakoa i roto i nga ruuma EUV-nui, ma te whakamahi i te ISO 9001: 2015-whakamahia me nga paerewa poke SEMI F47 ki te aukati i te paheketanga—he mea tino nui mo te hangahanga node 3nm ka whakakikoruatia te tika ki te hua maramara.
- Pūnaha Laser Aerospace: Whakaritea te mana o te kurupae i roto i nga taiao kino, na te pakeke o te sapphire 9 Mohs i honoa ki te hanganga ture RoHS/REACH, te aukati i nga karawarawa mai i nga otaota me te mau i te wera nui, e pai ana mo te whakawhitiwhiti korero me nga punaha arai laser rererangi.
- Rangahau Putaiao: Whakahohehia nga pakaruhanga i roto i te photonics me te rorohiko quantum me te tino iti te ngaronga optics, e whakaatu ana i te katoa o te whaiwhai rauemi me te ngawari o raro-ångström ki te whakaiti i te aukati tohu, te tautoko i nga whakamatautau he mea nui te tika me te rite ki te whakatuwhera i nga rohe hangarau hou.
I whakawhirinakihia e nga Kaihautu o te Ao
Tatou Sapphire Super Iti Ngaronga Flat Concave Mirror ka tutuki nga tiwhikete tino kaha:
- ISO 9001/14001 mo te kounga me te whakahaere taiao.
- SEMI S2/S8 hanganga ture mo te whakauru taputapu semiconductor.
- RoHS/REACH kua whakamanahia mo te whakahaere matū morearea.
Kei roto i ia whakaata he purongo mo te tirotiro me nga taipitopito LOT/ID.
Whakaritenga Kore he uaua
Kei te hiahia hoahoa kore-paerewa? Ka tukuna e matou:
- Ko nga Panui Whakapaipai: Tauwhāitihia nga pihi whakaata tika mo nga roangaru mai i te UV ki te IR.
- Nga Waahanga Motuhake: Tonoa nga pihi hangarite, nga kohao ritenga ranei mo nga taputapu motuhake.
- Te Whakatauira Tere: Tikina nga tauira mahi i roto i te 6 wiki, me nga MOQ whakangao iti ki te 5 waeine.

FAQ
Q: Kei te pehea to Sapphire Super Iti Ngaronga Flat Concave Mirror te whakapai ake i nga reeti hua i roto i te tuhinga tuhi EUV?
A: Ma te whakakore i nga koha o te mata me te paheketanga waiariki, ka whakaitihia e o maatau whakaata nga hapa whakakikorua e puta ai te para angiangi.
Q: Ka taea e au te tono i tetahi whakaata me te waahi whakakikorua 45 mm?
A: Ae! Ka whakarite matou i nga waahi whakakikorua ki tua atu i nga rahi paerewa kia uru ki nga whatu o to taputapu.
Q: He aha te tautoko e tukuna ana e koe mo nga ota nui?
A: Ko nga ota neke atu i te 10 nga waahanga ka whiwhi i nga mahi matua, nga utu whakahekenga, me te tautoko miihini whakatapua.
Kua Riri ki te Whakanuia o Punaha Matapihi?
Īmēra to tatou kapa hangarau i xachaona@163.com mo te korero, mo te korero ranei mo to kaupapa Sapphire Super Iti Ngaronga Flat Concave Mirror.