Konupora Fluoride Super Iti Ngaronga Whakaata Porohita

Konupora Fluoride Super Iti Ngaronga Whakaata Porowhita: Tikanga Tikanga mo nga Tono-Genenga Panuku

Ina tatau nga whakaahua katoa, to tatou Konupora Fluoride Super Iti Ngaronga Whakaata Porohita ka tukuna he mahinga kore-rite i roto i te whakamaoritanga ultraviolet (EUV) tino, lasers ultrafast, me nga punaha whatu tika. He mea hanga ki te CaF₂ waihanga o te 99.99% parakore, ka whakaitihia e enei whakaata te ngaronga marama ki te <10 ppm i te wa e mau tonu ana te hanganga i raro i te whakamaarama hiko teitei. Ahakoa kei te arotau koe ki te hanga maramara, e pana ana ranei i nga rohe o te ahupūngao taiaho, ka tukuna e a maatau whakaata te tika o te mata iti-nanometer me te pumau o te waiariki (±5 ppb/K) mo nga tono miihana.

He aha te take i tu ai a maatau whakaata

• Te Maama-Iraiti: Ka eke ki te 99.999% te whakaata i nga roangaru 13.5 nm, te whakaiti i te ururua o te hiko me te whakamaaramatanga o te waiariki, he mea nui mo te hangahanga semiconductor EUV ahakoa he iti noa te whakaurunga ka whakararu i te tauira angiangi, me te whakarite kia pai te whakamahi photon i roto i nga tukanga lithography tino tika.​
• Te Maamaa: Kia mau ki te ± 0.01% te tika o te ahu ahakoa ki te 100°C, he pai mo nga taputapu hiko EUV hiko teitei, hei aukati i te hee i roto i nga raina hanga semiconductor i reira ka taea e te piki o te pāmahana te whakararu i te taiawhio nanoscale, me te whakarite kia rite tonu te mahi i roto i nga mahi wera-wera.​
• Nanoscale Precision: Ko te taratara o te mata <0.12 nm Ra (whakamatauhia ma te Zygo profilometer) ka whakarite kia iti te ngaro o te marara, he mea nui mo nga hangarau o te EUV me nga punaha whakawhitiwhiti korero i reira ka whakahekehia e nga whakaahua marara te pono o te tohu, e rite ana ki te tika e hiahiatia ana mo nga tono whatu matatau.​
• Hoahoa Whakaritea: Whiriwhiria nga diameter mai i te φ12.7mm ki te φ100mm, me te radii curvature (500–8000mm) he mea whakarite ki to tatūnga whatu, kia pai te uru ki roto i nga taputapu taiwhanga kiato me nga taputapu whakangao semiconductor nui-nui, ka urutau ki nga whakaritenga hangarau kanorau me te tino tika.

tawhā

Tuhipoka: Ka taea te whakarite ki o hiahia motuhake.

Tono Nui

• EUV Lithography: Whakahohehia te hanga maramara iti-7nm me nga whakaata e aukati ana i te paheketanga o te waiariki me te poke, te whakamahi i te 99.999% te whakaata i te 13.5nm me te ± 0.01% te pumau i te 100°C ki te pupuri i nga ara whakaahua tika, he mea nui mo te whakatauira i nga iahiko iti me te kore he kino mai i te wera me te otaota.
• Femtosecond Lasers: Whakaitihia te paheketanga o te pupuhi i roto i nga kohanga laser ultrafast na roto i te nanoscale precision (te taratara o te mata <0.12nm Ra), kia mau tonu te ahua me te kaha o nga pini—e whakaiti ana i te mararatanga, he mea nui mo nga tono penei i te micromachining me te spectroscopy kei reira te pono o te putere e tohu nga hua.​
• Pūnaha Metrology: Whakanuia te tika o te inenga me te kore kino o raro o te mata, ka honoa ki nga hoahoa whakarite (φ12.7mm–φ100mm diameter) e uru pai ana ki nga tatūnga whakatikatika. Ko nga mata tino maeneene ka whakakore i te whakamararatanga, me te whakarite kia kaua e kopikopiko nga panui e nga ngoikoretanga o nga rawa, he mea nui mo te tātari inenga tino tika.

Hangaia mo te Whakapono

katoa Konupora Fluoride Super Iti Ngaronga Whakaata Porohita ka whai:

• 100% whakamātautau interferometry me te spectroscopy: Whakamanahia te papatahi o te mata o ia waahanga me te mahi matakite, me te whakarite kia 99.999% te whakaata i te 13.5nm me te <0.12nm Ra taratara—he mea tino nui mo nga whakaata hiko EUV me nga kohao taiaho femtosecond ka taea e nga rereke iti te whakararu i te tika.
• Te whakamaaramatanga o te ahotea o te taiao (te paihikara waiariki, te haumākū): Ko nga waahanga kaupapa ki te -50°C ki te 300°C ka huri me te 95% te haumuku ki te whakataurite i nga ahuatanga o te ao, kia mau tonu nga taputapu EUV me nga punaha metrology e mahi ana i roto i nga momo taiao ahumahi, taiwhanga ranei kaore he kino o te mahi.​
• Te whakamanatanga tuatoru mo nga hanganga ture SEMI me te ISO 9001: Ko nga arotake motuhake e whakapumau ana i te ū ki nga paerewa ahumahi semiconductor (SEMI) me nga punaha whakahaere kounga (ISO 9001), e whakapumau ana mo nga kaihoko waka me te aerospace e tutuki ana nga waahanga ki te tino pono me te rite o nga whakaritenga mo nga tono-nui.

I whakawhirinakihia e nga Kaihautu Ahumahi

Ka tukuna e matou he whakaata ki nga OEM kua whakamanahia e te ASML me nga taiwhanga rangahau teitei, e tuku ana:

• Waihanga Tauineine: Te kaha o te tau o te 10,000+ wae.
• 24/7 Tautoko Hangarau: Ko nga whakakikorua-whakahoahoa-a-hoahoa-a-hanganga motuhake ranei.
• Pūtāhui Ora: Kua whakamanahia te mahi me te kore e whakaroa, he tohu rua ranei.

Whai Pātai?

Q: He aha te marama UV ka taea e au te tumanako i te 13.5 nm?

A: Ka tutuki o maatau whakaata> 99% te tuku i te 13.5 nm me te Mo / Si multilayer coatings.

P: Me pehea koe e whakarite ai i te taratara o te mata <0.5 nm?

A: Ka whakamahia e matou te whakaotinga magnetorheological (MRF) me nga inenga auau-katoa kua whakamanahia e Zygo.

Q: Kei te whai-tikanga a ITAR o whakaata?

A: Ae - ka whakaratohia e matou nga whiringa ITAR-kore me te EAR mo nga tuku o te ao.

Q: Ka taea e koe te hanga whakaata i runga ake i te φ100mm?

A: E waatea ana nga diameters ritenga ki te φ500mm me te tika o te curvature ± 0.05%.

Kua Riri ki te Arotau i To Pūnaha Matapihi?

īmēra xachaona@163.com mo te korero korero, korero hangarau ranei mo Konupora Fluoride Super Iti Ngaronga Whakaata Porohita. Me hanga e koe to otinga tino tika i tenei ra.