Tatou Konupora Fluoride Super Iti Ngaronga Flat Concave Mirror kua hoahoatia mo nga miihini me nga kairangahau e hiahia ana kia mahi koretake i nga roangaru ultraviolet (UV). He mea hanga mai i te pukoro konupūmā (CaF₂), ka tukuna e enei whakaata <0.05% te ngaronga whakaurunga i te 193nm me te 248nm—he mea tino nui mo te lithography semiconductor, te hanga kurupae laser, me nga punaha metrology ka taea e te werawera me te marara te whakakore i te tika.
| tawhā | Whakapūtātanga |
|---|---|
| ahu |
1)D=φ12.7-φ50.8mm(tolerance±0.1),H=4-8mm D:H>4:1(tolerance±0.5) 2)D50.8-φ100mm(tolerance±0.1),H=10-25mm D:H>4:1(tolerance±0.5) |
| Te rahi o te timatanga | Φ7.5-45mm |
| Te waahi whakakikorua | rahi D12.7 tikanga, rahi rohe paninga 7.5; D25 te rahi o te waahi whakakikorua 10, ka taea te whakarite i etahi atu waahanga whakakikorua |
| Te whakatere | SR: 500-8000mm (ka taea te whakarite), tika ±0.05% |
| Te tika o te mata | λ/8 @ 632.8nm |
| Te tika o te porohita | 30"-3' |
| Whanui | Ra0.12nm (Zygo profilometer) waahi whakamatautau 173*173um inenga auau tonu |
| paninga | Whakaata ≥99.999%, ngaro 2-6ppm, tuku 3-5ppm |
| Whanui tohutoro | 420nm-3000nm |
| Rauemi | Te hauora rehu |
| ka taea te whakarite kia rite ki ngā hiahia o te kaiwhakamahi. | |
1️⃣ DUV Lithography Systems: Kia mau tonu te tika o te kurupae i roto i nga optics teitei-NA me te iti o te ngaru o te ngaru, ahakoa i raro i te whakamaaramatanga o te UV roa, ma te whakamahi i nga taputapu whakamaroke iraruke me te λ/10 te tika o te mata — he mea nui mo te whakatauira i nga ahuatanga iti-7nm ka pakaru te whakakorikori i te tika o te ara iahiko i roto i te hangahanga hikohiko teitei.
2️⃣ Utauta Tukatuka Taiaho: Ka mau ki nga laser excimer kaha teitei i te wa e atete ana i te arotahi waiariki—he mea pai mo te miihini miihini me te whakakore i nga kiriata angiangi, te whakamahi i nga paninga whakauru iti (<5 ppm te ngaronga) me te pumau o te waiariki tae atu ki te 300°C hei aukati i te kurupae kurupae, me te whakarite kia rite tonu te tapahi o te hanga hikohiko me te hanga taputapu rongoa.
3️⃣ Wafer Inspection: Tutuki <0.1% te ngaronga marara mo te kite i nga hapa iti-10nm i roto i nga kohanga matatau, he mihi ki te ngawari o raro-ångström (<0.12nm Ra) e whakakore ana i nga panui teka mai i nga koretake o te mata, ka taea te whakahaere kounga pono i roto i te 3nm me tua atu o nga raina whakaputa maramara.
4️⃣ Tatūnga Metrology: Whakahohehia nga inenga EUV tairongo-waa me te λ/10 te papatahi o te mata, ka honoa ki te 99.999% te whakaataata hei pupuri i te pono o te tohu, me te whakarite i te tātari ahu tika i roto i te metrology semiconductor ka taea e nga hapa ine te whakararu i te whakamanatanga o te taputapu.

He tohunga taatau ki nga otinga ritenga:
1. 📩 Tonoa Ritenga Kīanga (48haora Whakautu)
2. 📥 Tikiake Pepa Raraunga Katoa
3. 🕒 Apiti Whakawhitiwhitinga Hangarau

❓ Me pehea enei Konupora Fluoride Super Iti Ngaronga Flat Concave Mirror mau tonu te marama UV?
Ka whakakorehia e ta maatau tukanga tipu karaihe nga poke e puta ai te whakauru o te UV, me te whakarite> 99% te whakawhiti i te 193nm ahakoa i muri i te 10,000+ huringa laser.
❓ He aha nga tikanga horoi he haumaru?
Whakamahia te hau hauota kua tātarihia he wairewa wai 1:1 IPA/deionized ranei. A ape i te horoi miihini ki te kore e tino tika.
❓ Ka taea e koe te whakatau i nga rahi kore-paerewa?
Ae! Kua hangaia e matou he whakaata tae atu ki te Ø300mm me te radii curvature ki raro ki te 50mm mo nga taputapu rangahau EUV.
❓ Me pehea te tutukitanga o te waiariki?
Ka arotauhia e matou te ahuahanga whakaata ma te whakamahi i nga whaihanga FEM hei utu mo te whakarea whakareatanga waiariki a CaF₂ (18.9×10⁻⁶/K).
Whakapa atu ki a maatau miihini miihini i xachaona@163.com mo te tautoko whaiaro.
Arotauhia to mahi whatu me te Konupora Fluoride Super Iti Ngaronga Flat Concave Mirror—i reira ka tutuki te tika ki te pono.
Akohia a maatau hua hou me nga utu ma te SMS, imeera ranei