Konupora Fluoride Super Iti Ngaronga Flat Concave Mirror

① Ahu
1)D=φ12.7-φ50.8mm(tolerance±0.1),H=4-8mm D:H>4:1(tolerance±0.5) 2)D50.8-φ100mm(tolerance±0.1),H=10-25mm D:H>4:1(tolerance±0.5)
② Rahi Whakamata:φ7.5-45
③ Te rahi o te waahi paninga: te rahi D12.7, te rahi o te waahi pani 7.5; D25 te rahi o te waahi whakakikorua 10, ka taea te whakarite i etahi atu waahanga whakakikorua
④ Kopikopiko: SR=500-8000(whakaritea), tika te pihinga ±0.05%
⑤ Te tika o te mata: λ/ 8@632.8nm
⑥ Tika porohita:30"-3′
⑦ Roughness: Ra0.12nm (Zygo profilometer) waahi whakamatautau 173*173um inenga auau tonu
⑧Whakaritenga whakakikorua: roangaru 420nm-3000nm, whakaata ≥99.999%, ngaro 2-6ppm, tuku 3-5ppm
Whakaata whakamuri ki muri;
⑦ Rauemi: konupora pūkōwhai
Tuhipoka: Ko nga tohu motuhake kaore i te iti ki te waahanga o runga ake nei, ka taea te whakarite kia rite ki nga hiahia o te kaiwhakamahi.
Taupānga: Femtosecond ultrafast taiaho, teitei te kitenga whatu
Whakaahuatanga Hua

 Tikanga Tika mo nga tono tono

Tatou Konupora Fluoride Super Iti Ngaronga Flat Concave Mirror kua hoahoatia mo nga miihini me nga kairangahau e hiahia ana kia mahi koretake i nga roangaru ultraviolet (UV). He mea hanga mai i te pukoro konupūmā (CaF₂), ka tukuna e enei whakaata <0.05% te ngaronga whakaurunga i te 193nm me te 248nm—he mea tino nui mo te lithography semiconductor, te hanga kurupae laser, me nga punaha metrology ka taea e te werawera me te marara te whakakore i te tika.

Nga Whakatakotoranga Matua i te Maataki

tawhā Whakapūtātanga
ahu

1)D=φ12.7-φ50.8mm(tolerance±0.1),H=4-8mm D:H>4:1(tolerance±0.5)

2)D50.8-φ100mm(tolerance±0.1),H=10-25mm D:H>4:1(tolerance±0.5)

Te rahi o te timatanga Φ7.5-45mm
Te waahi whakakikorua rahi D12.7 tikanga, rahi rohe paninga 7.5; D25 te rahi o te waahi whakakikorua 10, ka taea te whakarite i etahi atu waahanga whakakikorua
Te whakatere SR: 500-8000mm (ka taea te whakarite), tika ±0.05%
Te tika o te mata λ/8 @ 632.8nm
Te tika o te porohita 30"-3'
Whanui Ra0.12nm (Zygo profilometer) waahi whakamatautau 173*173um inenga auau tonu
paninga Whakaata ≥99.999%, ngaro 2-6ppm, tuku 3-5ppm
Whanui tohutoro 420nm-3000nm
Rauemi Te hauora rehu
ka taea te whakarite kia rite ki ngā hiahia o te kaiwhakamahi.

Kei hea a maatau whakaata i te Excel

1️⃣ DUV Lithography Systems: Kia mau tonu te tika o te kurupae i roto i nga optics teitei-NA me te iti o te ngaru o te ngaru, ahakoa i raro i te whakamaaramatanga o te UV roa, ma te whakamahi i nga taputapu whakamaroke iraruke me te λ/10 te tika o te mata — he mea nui mo te whakatauira i nga ahuatanga iti-7nm ka pakaru te whakakorikori i te tika o te ara iahiko i roto i te hangahanga hikohiko teitei.​

2️⃣ Utauta Tukatuka Taiaho: Ka mau ki nga laser excimer kaha teitei i te wa e atete ana i te arotahi waiariki—he mea pai mo te miihini miihini me te whakakore i nga kiriata angiangi, te whakamahi i nga paninga whakauru iti (<5 ppm te ngaronga) me te pumau o te waiariki tae atu ki te 300°C hei aukati i te kurupae kurupae, me te whakarite kia rite tonu te tapahi o te hanga hikohiko me te hanga taputapu rongoa.​

3️⃣ Wafer Inspection: Tutuki <0.1% te ngaronga marara mo te kite i nga hapa iti-10nm i roto i nga kohanga matatau, he mihi ki te ngawari o raro-ångström (<0.12nm Ra) e whakakore ana i nga panui teka mai i nga koretake o te mata, ka taea te whakahaere kounga pono i roto i te 3nm me tua atu o nga raina whakaputa maramara.​

4️⃣ Tatūnga Metrology: Whakahohehia nga inenga EUV tairongo-waa me te λ/10 te papatahi o te mata, ka honoa ki te 99.999% te whakaataata hei pupuri i te pono o te tohu, me te whakarite i te tātari ahu tika i roto i te metrology semiconductor ka taea e nga hapa ine te whakararu i te whakamanatanga o te taputapu.

hua-1-1

Tautukunga Whakapono

  • ✅ ISO 9001:2015 Tiwhikete: Ka whakarite kia rite tonu te whakahaeretanga o te kounga puta noa i te whakaputanga, mai i nga waahanga o te DUV lithography ki nga whakaata metrology, me nga mana whakahaere e whakaiti ana i te rereketanga—he mea nui mo nga papanga semiconductor e ti'aturi ana ki nga mahi orite i roto i nga optics teitei-NA me nga taputapu tirotiro.​
  • ✅ SEMI F47 Mana Whakakino: Ka tutuki i nga paerewa matūriki me te haunga o te hau mo nga taiao rūma ma, te aukati i te microcontamination i roto i te DUV lithography me nga whakaritenga tirotiro angiangi ka taea e nga matūriki iti te whakangaro i nga waahanga iti-10nm i te wa e hanga ana te semiconductor.​
  • ✅ RoHS/REACH Compliant: Ka whakakore i nga matū kua herea i roto i nga rawa, me te whakarite i te whakauru haumaru ki nga taputapu tukatuka laser me nga punaha metrology, e hono ana ki nga ture taiao o te ao mo te hanga hikohiko, mai i nga papanga e ahu mai ana i te EU ki nga whare hikohiko Ahia.​
  • ✅ Te Taapiri Rawa Katoa: Ka whai i nga waahanga katoa mai i te tïpako mata ki te paninga whakamutunga, ka taea te tātari take-a-papa mo nga take mahi i roto i te lithography, i nga whakaritenga tukatuka taiaho ranei, te tautoko i nga arotakenga kounga me te whakamanatanga pono i roto i te hanga semiconductor matatau.​

Whakaritehia ki o hiahia

He tohunga taatau ki nga otinga ritenga:

  • Irirangi Curvature: 100mm – 2000mm
  • Apertures: Ø10mm – Ø300mm
  • Nga paninga: AR te roangaru-rua, paparanga whakamarumaru
  • Roopu Tonu: CV Rota-ki-rota <2%

He aha nga Kaihanga Engineers i whiriwhiri ai i a maatau

  • 15+ Tau i roto i te DUV Optik
  • 98% Tukunga i te wa mo nga ota> 500 wae
  • <0.1% Reiti Koha (MIL-STD-883 i whakamatauria)
  • Rorohiko Ao me nga hoa whaimana SEMI

Kua Riri ki te Arotau i To Pūnaha Matapihi?

1. 📩 Tonoa Ritenga Kīanga (48haora Whakautu)

2. 📥 Tikiake Pepa Raraunga Katoa

3. 🕒 Apiti Whakawhitiwhitinga Hangarau

hua-1-1

Pātai Auau

❓ Me pehea enei Konupora Fluoride Super Iti Ngaronga Flat Concave Mirror mau tonu te marama UV?

Ka whakakorehia e ta maatau tukanga tipu karaihe nga poke e puta ai te whakauru o te UV, me te whakarite> 99% te whakawhiti i te 193nm ahakoa i muri i te 10,000+ huringa laser.

❓ He aha nga tikanga horoi he haumaru?

Whakamahia te hau hauota kua tātarihia he wairewa wai 1:1 IPA/deionized ranei. A ape i te horoi miihini ki te kore e tino tika.

❓ Ka taea e koe te whakatau i nga rahi kore-paerewa?

Ae! Kua hangaia e matou he whakaata tae atu ki te Ø300mm me te radii curvature ki raro ki te 50mm mo nga taputapu rangahau EUV.

❓ Me pehea te tutukitanga o te waiariki?

Ka arotauhia e matou te ahuahanga whakaata ma te whakamahi i nga whaihanga FEM hei utu mo te whakarea whakareatanga waiariki a CaF₂ (18.9×10⁻⁶/K).

He maha atu nga paatai?

Whakapa atu ki a maatau miihini miihini i xachaona@163.com mo te tautoko whaiaro.

Arotauhia to mahi whatu me te Konupora Fluoride Super Iti Ngaronga Flat Concave Mirror—i reira ka tutuki te tika ki te pono.

Karere Aipurangi

Akohia a maatau hua hou me nga utu ma te SMS, imeera ranei